摘要:三坐标测量机在当今社会应用广泛，尤其是机械加工行业。而随着社会的发展，人们越发追求完美，并且在原有的基础上变得精益求精。所以对三坐标测量机的性能要求更加的严格。本文中针对三坐标测量机展开设计，第一步就是确定好本次设计的产品基本尺寸大小，接着设计好其加工工艺，并就能此步骤挨个设计所需机构，运用相关公式计算好每个零件的具体参数值，并对其进行校核。确保整个的设计都能保证产品生产的正常进行，做到精益求精，满足人们的生活和生产要求。本文多次运用对比的方法，优中选优，充分保证了三坐标测量机的性能，实现其测量结果的准确度。本次设计选择使用燕尾型气体静压式导轨，并对其优点进行了详细的介绍。最后对测量误差进行了分析，总的来说就是实现精密测量，确保测量结果的有效性。
关键词 超精密；气静压；高精度；精密测量
目录
摘要
Abstract
1 绪 论-3
1.1-课题的研究背景及意义-3
1.2-精密测量的研究现状-3
1.3-精密测量的关键技术-5
1.3.1 直线导轨-5
1.3.2 传动系统-6
1.3.3 测量技术-6
1.4 课题研究内容-6
2 三坐标测量机整机机构设计-7
2.1 总体布局-7
2.2床身材料选用-8
2.3 导轨的设计-9
2.4 进给传动方式的选择-12
2.4.1 进给丝杠-12
2.4.2 钢丝和钢索传动-12
2.4.3 摩擦驱动-12
2.5 测量仪整体结构设计-13
2.6 测量仪的工作原理-14
3 测量仪的主要零部件的设计-15
3.1 移动桥的设计-15
3.2 溜板的设计-16
3.3 电机选型-17
3.4 环境控制平台-20
3.4.1 温度控制-20
3.4.2 隔振-20
3.5 光栅尺的选型-21
4 测量仪精度分析-22
4.1 测量仪误差源-22
4.2 测量仪精度分析-23
4.2.1 测量表的精度-23
4.2.2 数学模型误差-24
4.2.3 因测杆受力产生的误差-24
5 结束语-26
6 致谢-27
参考文献-28
